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クボテックでは、デジタルカメラなどの電荷結合素子（CCD）センサの専用検査装置を開発致しました。2003年4月に販売開始する予定です。 CCDセンサの検査は従来は半導体の検査装置で検査を行っていました。半導体の検査装置では１マイクロメートル以上の欠陥の検知ができますが、基板１枚の検査に５分程度かかる上、１台の装置価格も２億以上になります。ですが製造工程によりましては、２マイクロメートル以上の欠陥を検出できればいい工程もあります。このようなミドルレンジの欠陥に対応できる検査装置の需要が高まっていました。 今回開発した「デジタルカメラ用CCDセンサ検査装置」は、直径300mmのセンサ用基板に対応し、２マイクロメートル以上の欠陥を検知でき、従来の半導体検査装置の半分の時間で検査ができます。また価格も従来の半分の1億円を予定しています。
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